真空泵的工作介質主要是直接引用自來水或造紙白水。由于自來水的硬度比較高，白水內的金屬離子成分也比較復雜，所以說，真空泵的內部流體部件在此種介質條件下工作，經過長期的物理化學過程，就會形成水垢。結垢后的真空泵不僅抽氣速率降低，而且還會導致功耗升高。當積垢幾乎填滿葉片之間的空間或進排氣窗口幾乎被水垢堵滿時，進排氣量也就幾乎為零了，真空泵也就失去了抽取真空的作用。
循環水的水質和運轉溫度超越一定指標是形成真空泵結垢的主要緣由。水質指標中，尤以水的硬度影響zui大。為此，必需盡可能降低水的硬度，控制循環水的工作溫度，才干處理真空泵機組結垢的問題。
1、循環冷卻水的性質
真空泵機組循環水系統大都是敞開式循環系統，回水率比擬高。在因資金等緣由不采用離子交流設備停止水處置的狀況下，普通應用一個軟化水池加一個高位水池對真空泵停止供水。在循環冷卻水運轉過程中，還有必要對各臺泵的回水溫度和回水量停止監測，以保證各臺泵的正常供水量以及回水溫度不超越40℃的規則。采取補充低溫冷水或用其他散熱降溫的方法來降低軟化水池內軟化水的溫度。
2、定期沖洗泵體
除了用于正常排出泵內積水外，還可在運轉過程中應用泵體運轉的水壓定期沖洗泵內污垢和水渣，一方面能夠避免污垢積存，另一方而還能夠避免水渣轉化為水垢。真空泵機組的結垢問題有其較為復雜的生成機理，正確剖析水質指標和運轉參數是找出正確防備措施的關鍵。除了水溫控制和定期沖洗泵體外，水處置是避免泵體結垢的zui重要環節。
